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瑞士VAT閥65.3 高真空控壓擺閥
產品簡介
| 品牌 | 其他品牌 | 流動方向 | 單向 |
|---|---|---|---|
| 3C閥門類別 | 工業 | 應用領域 | 能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣,綜合 |
瑞士VAT閥65.3 高真空控壓擺閥
65.3 控壓擺閥設定了下游壓力控制和隔離的新標準。該系列控壓擺閥專為半導體和顯示器生產系統而設計，可在較寬的流導范圍內提供高水平的可控性。65.3 控壓擺閥配備帶有集成位置控制的電機，可提供改進功能。
驅動器控制器具有更高的 32 位數據處理能力，可提供全新可控性。這意味著可以非常快速、精細和準確地控制鐘擺閥板的各個位置，從而在極短的響應時間內實現非常精確的下游壓力控制。閥門的預設運動序列可根據各種不斷變化的工藝參數，對速度和路線進行調整。65.3 控壓擺閥還可防止粒子釋放。閥板經過優化的阻尼關閉運動可避免傳統閥門常見的沖擊和振動。65.3 控壓擺閥的閉合順暢無礙，幾乎察覺不到關閉和打開。閥板提供非常精確的機械引導，可確保往復運動中的無接觸氣流控制，并在密封運動的所有區域內實現均勻的密封。
65.3 控壓擺閥已經安裝在數百個各種工藝條件下的要求苛刻的應用中，證明了其的可靠性和性能。65.3控壓擺閥還是改造現有系統的理想之選。
65.3 控壓擺閥的尺寸為 DN 100-350 mm (4" - 14")，采用鋁或硬質陽極氧化鋁制成，帶有 ISO-F 和 JIS 標準法蘭連接。可集成定制法蘭，也可作為直接安裝選項。標準密封材料為氟橡膠，并且可根據要求使用其他材料。
控制器可采用特殊控制算法（自適應、固定 PID、上游、軟抽）。控制器上的各種標準端 口可通過個人計算機或連接到過程控制單 元 (PCU) 輕松訪問。專用的控制性能分析儀 (CPA) 軟件可輕松校準 65.3 控壓擺閥并簡化維護計劃
特點：
快速精確的壓力控制
無沖擊操作：無粒子生成
提高工藝穩定性：可控制所有流量和壓力
帶有控制性能分析儀 (CPA) 的 32 位集成壓力調節器 (IC2)
“即插即用"改造：無需校準或匹配
優勢：
可靠性、精度和速度
維護周期延長
運行成本低
瑞士VAT閥65.3 高真空控壓擺閥
尺寸 | DN 100 (4"), DN 160 (6"), DN 200 (8"), DN 250 (10"), DN 320 (12"), DN 350 (14") | ||
|---|---|---|---|
驅動器 | 帶集成壓力控制器的步進電機 | ||
閥體材料 | 鋁：鋁或硬質陽極氧化鋁 | ||
饋通件 | 驅動器 密封圈 | 旋轉饋通件 軸饋通件 | |
標準法蘭 | ISO-F, JIS | ||
泄漏率閥體 | 鋁 硬質陽極氧化鋁 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 < 1 × 10-5 mbar ls-1 | |
泄漏率閥座 | 鋁 硬質陽極氧化鋁 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 < 1 × 10-4 mbar ls-1 | |
壓力范圍 | 鋁 硬質陽極氧化鋁 | 1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (絕對壓強) 1 × 10-6 mbar to 1.2 bar (絕對壓強) | |
首維護前開關次數1) | 壓力控制 關閉/打開 | 100 萬次 20 萬次 | |
溫度 | 閥體 控制器 | ≤ 120 °C 最大 50℃（建議 ≤35℃） | |
材料 | 閥體、閥板 | EN AW-6061 (3.3211) | |
密封圈 | EN AW-6061 (3.3211), AISI 305 (1.4303), AISI 420C (1.3541), AISI 631 (1.4568) | ||
其他部件 | AISI 316L (1.4404, 1.4435), AISI 440 (1.4122), AISI 301 (1.4310), AISI 316 Ti (1.4571), AISI 304 (1.4301) | ||
密封 | 閥蓋、閥板、 閥體饋通件 | 氟橡膠（含氟彈性體） | |
安裝位置 | 任何位置 | ||
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